真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方

法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉积法。如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能的话，这-技术又是真空表面处理技

术中的重要组成部分。现就其几个主要应用方面做一简单介绍。

在光学方面，-块光学玻璃或石英表面.上镀-层或几层不同物质的薄膜后， 即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料，也可以作成对某种波长的吸收，而

对另-种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始、一直 到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都很需要。增透膜则大量用于照相和各种激光器开始、- -直 到新型建筑物

的大窗镀膜玻璃，都很需要。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。

在电子学方面真空镀膜更占有重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。 作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁芾、磁盘

半导体激光器，约瑟夫逊器件、电荷耦合器件(CCD) 也都甬道各种薄膜。

在显示器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。

在元件方面，在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、-氧化硅、二 氧化钛等可以制造电容器， 蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸

缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。

此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、 纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具模具等 制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如

不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。