磁控镀膜机的运行原理
对于那些不太了解真空设备行业的朋友来说,他们大多不知道磁控镀膜机在运行过程中应该注意和具备哪些事项,包括其运行环境要求、标准和运行原理。下面的小系列会详细介绍给大家,让大家对磁控溅射镀膜机有一个全新的认识。
各种镀膜技术都需要一个蒸发源或蒸发靶,以便将蒸发的成膜物质转化为气体。随着来源或目标的不断提高,电影制作材料的选择范围也大大扩大。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物,都可以气相沉积各种金属膜和介质膜,不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。
蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。膜厚可以精确测量和控制。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。
随着来源或目标的不断提高,磁控镀膜机的制作材料的选择范围也大大扩大。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物,都可以气相沉积各种金属膜和介质膜,不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。在与待镀工件形成薄膜的过程中,可以精确地测量和控制蒸发或溅射成膜材料的膜厚,从而保证膜厚的均匀性。由于涂布设备的不断改进,涂布过程可以连续进行,从而大大提高了产品的产量,生产过程中对环境无污染。
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