在高真空下，电子束镀膜机放出热电子，被加速阳极加速，获得巨大的动能轰击在蒸发材料上，动能转化为热量加热蒸发材料，实现电子束蒸发镀膜。电子束镀膜机由发射电子的热阴极、电子加速电极和作为阳极的涂层材料组成。电子束蒸发源的能量可以高度集中，使得涂层材料局部达到高温并蒸发。通过调节电子束的功率，可以方便地控制涂层材料的蒸发速率，特别是对于高熔点、高纯度的金属和化合物材料。

电子束镀膜机涂层的特性

　　电子束镀膜机是工业上常用的薄膜制造设备。由于蒸发涂布机的特点，它在薄膜生产中起着重要的作用，薄膜主要是通过涂布机中电子束的加热来生产的。

　　1、电子束镀膜机的优点

　　(1)将涂布机中的电子束加热方法与传统的电阻加热方法进行了比较。电子束加热会产生较高的通量密度，有利于高熔点材料的蒸发，也能在一定程度上提高蒸发速率。

　　(2)电子束镀膜机工作时，将待蒸发的原料放入水冷铜坩埚中，可以防止材料被污染，制造出高纯度的薄膜。

　　电子束蒸发的粒子动能比较大，有利于薄膜的精度和结合力。

　　2、电子束镀膜机的缺点

　　电子束蒸发镀膜机整体结构比较复杂，相对于其他镀膜设备价格比较高。

　　镀膜机工作时，如果蒸发源附近的蒸汽密度比较高，电子束电流与蒸汽粒子会有一定的相互作用，影响电子通量，使电子通量失去或偏离轨道。同时，你也可能引发蒸汽和残余气体的激发和电离，影响整个胶片的质量。